精密機(jī)械加工設(shè)備是用于制造或加工具有高度精度要求的零部件或產(chǎn)品的設(shè)備。以下是一些常見的精密機(jī)械加工設(shè)備：

　　1. 數(shù)控機(jī)床：包括數(shù)控車床、數(shù)控銑床、數(shù)控磨床等，通過計(jì)算機(jī)程序控制機(jī)床的運(yùn)動(dòng)和加工過程，實(shí)現(xiàn)高精度的自動(dòng)加工。

　　2. 飛秒激光加工系統(tǒng)：利用超短激光脈沖進(jìn)行材料切割、打孔、雕刻等精密加工，具有高精度的優(yōu)點(diǎn)。

　　3. 線切割機(jī)：采用金屬絲或線電極進(jìn)行電火花加工，可以實(shí)現(xiàn)高精度的零件切割和形狀加工。

　　4. 精密磨床：用于平面磨削、外圓磨削、內(nèi)圓磨削等工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)高度精密的零件加工。

　　5. 納米加工設(shè)備：包括原子力顯微鏡（AFM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等，可用于納米級(jí)別的材料加工、表面修復(fù)和分析。

　　6. 去離子設(shè)備：用于去除零件表面的離子污染物，提高加工質(zhì)量和精度。

　　7. 真空設(shè)備：如真空爐、真空包裝機(jī)等，可以在無氧、無塵、低溫或特殊氣氛條件下進(jìn)行精密加工。